Quá trình photolithography bắt đầu bằng việc làm gì với một wafer?
Đáp án đúng: A
Quá trình photolithography (khắc quang) là một kỹ thuật được sử dụng trong sản xuất vi điện tử để tạo ra các mẫu trên bề mặt của một wafer (tấm bán dẫn). Bước đầu tiên trong quá trình này là phủ một lớp vật liệu nhạy sáng gọi là photoresist (hoặc resist) lên bề mặt của wafer. Lớp photoresist này sẽ thay đổi tính chất hóa học khi tiếp xúc với ánh sáng, cho phép tạo ra các mẫu mong muốn sau khi chiếu sáng và xử lý hóa học.
Các lựa chọn khác không phải là bước đầu tiên trong quá trình photolithography:
- Đánh bóng bề mặt wafer thường được thực hiện trước khi bắt đầu quá trình photolithography để đảm bảo bề mặt wafer phẳng và sạch.
- Tạo các mạch mỏng trên wafer là mục tiêu của quá trình photolithography, nhưng nó không phải là bước đầu tiên.
- Cắt wafer thành các chip nhỏ là bước cuối cùng của quá trình sản xuất, sau khi tất cả các lớp mạch đã được tạo ra trên wafer.