Ánh sáng được sử dụng trong quá trình photolithography thường là:
Trả lời:
Đáp án đúng: D
Trong quá trình photolithography (quang khắc), ánh sáng được sử dụng thường có bước sóng ngắn để tạo ra độ phân giải cao hơn. Ánh sáng có bước sóng ngắn hơn ánh sáng tím nằm trong vùng tử ngoại (UV), do đó cho phép khắc các chi tiết nhỏ hơn trên vật liệu bán dẫn. Các loại ánh sáng khác như ánh sáng xanh, đỏ, tím có bước sóng dài hơn, dẫn đến độ phân giải kém hơn trong quá trình quang khắc.





