Ưu điểm chính của EUV Lithography so với phương pháp lithography truyền thống là gì?
Trả lời:
Đáp án đúng: C
Công nghệ EUV (Extreme Ultraviolet) Lithography sử dụng bước sóng cực tím ngắn hơn nhiều so với các phương pháp lithography truyền thống (như deep-UV). Bước sóng ngắn hơn cho phép khắc các chi tiết nhỏ hơn và tạo ra độ phân giải cao hơn trên chip. Điều này cho phép sản xuất các vi mạch với mật độ bóng bán dẫn cao hơn, cải thiện hiệu năng và giảm kích thước của các thiết bị điện tử. Do đó, ưu điểm chính của EUV so với lithography truyền thống là độ phân giải cao và khả năng tạo chi tiết nhỏ.





