Quá trình nào sau đây được sử dụng để tạo ra các cấu trúc mạch trên wafer?
Đáp án đúng: A
Đáp án đúng là A. Photolithography (Quang khắc) là quá trình sử dụng ánh sáng để chuyển một mẫu hình (pattern) lên một lớp vật liệu nhạy sáng (photoresist) trên bề mặt wafer. Sau đó, lớp photoresist đã được định hình sẽ được sử dụng làm mặt nạ để khắc (etch) các lớp vật liệu bên dưới, tạo ra các cấu trúc mạch mong muốn. Các quá trình B, C và D là các bước khác trong quy trình sản xuất mạch tích hợp, nhưng không trực tiếp tạo ra các cấu trúc mạch.
Câu hỏi liên quan
Cả PVD, CVD, ALD và Sputtering đều là các quá trình được sử dụng để tạo ra các lớp phủ bảo vệ hoặc lớp dẫn điện trên wafer trong sản xuất vi mạch. Tuy nhiên, để chọn đáp án chính xác nhất, ta cần xem xét đến phạm vi sử dụng và đặc tính của từng phương pháp:
- PVD (Physical Vapor Deposition): Phương pháp lắng đọng vật lý, trong đó vật liệu được bay hơi từ nguồn và ngưng tụ trên bề mặt wafer. Sputtering là một loại PVD.
- CVD (Chemical Vapor Deposition): Phương pháp lắng đọng hóa học, trong đó các chất phản ứng hóa học tạo thành lớp màng trên bề mặt wafer.
- ALD (Atomic Layer Deposition): Một biến thể của CVD, cho phép kiểm soát độ dày lớp màng ở mức độ nguyên tử, tạo ra các lớp màng mỏng và đồng nhất.
- Sputtering: Một kỹ thuật PVD, trong đó các ion được sử dụng để bắn phá vật liệu nguồn, làm cho các nguyên tử của vật liệu này bắn ra và lắng đọng trên wafer.
Vì câu hỏi không đề cập đến yêu cầu cụ thể về độ mỏng, độ chính xác hay loại vật liệu, và tất cả các phương pháp đều có thể được sử dụng để tạo lớp phủ bảo vệ hoặc dẫn điện, nhưng PVD là khái niệm bao hàm Sputtering, và CVD, ALD là các phương pháp phổ biến và quan trọng trong việc tạo lớp phủ. Tuy nhiên, vì câu hỏi hỏi chung chung, và sputtering là một dạng của PVD, do đó đáp án bao quát nhất là các phương pháp PVD, CVD, và ALD.
Tuy nhiên, đáp án phù hợp nhất trong các lựa chọn là CVD vì nó là một trong các phương pháp phổ biến nhất để tạo lớp phủ trên wafer.

Bộ Đồ Án Tốt Nghiệp Ngành Trí Tuệ Nhân Tạo Và Học Máy

Bộ 120+ Đồ Án Tốt Nghiệp Ngành Hệ Thống Thông Tin

Bộ Đồ Án Tốt Nghiệp Ngành Mạng Máy Tính Và Truyền Thông

Bộ Luận Văn Tốt Nghiệp Ngành Kiểm Toán

Bộ 370+ Luận Văn Tốt Nghiệp Ngành Kế Toán Doanh Nghiệp

Bộ Luận Văn Tốt Nghiệp Ngành Quản Trị Thương Hiệu
ĐĂNG KÝ GÓI THI VIP
- Truy cập hơn 100K đề thi thử và chính thức các năm
- 2M câu hỏi theo các mức độ: Nhận biết – Thông hiểu – Vận dụng
- Học nhanh với 10K Flashcard Tiếng Anh theo bộ sách và chủ đề
- Đầy đủ: Mầm non – Phổ thông (K12) – Đại học – Người đi làm
- Tải toàn bộ tài liệu trên TaiLieu.VN
- Loại bỏ quảng cáo để tăng khả năng tập trung ôn luyện
- Tặng 15 ngày khi đăng ký gói 3 tháng, 30 ngày với gói 6 tháng và 60 ngày với gói 12 tháng.