JavaScript is required

Quá trình nào sau đây được sử dụng để tạo ra các cấu trúc mạch trên wafer?

A.

A. Photolithography

B.

B. Phủ lớp bảo vệ

C.

C. Chạy ets

D.

D. Làm sạch bề mặt

Trả lời:

Đáp án đúng: A


Đáp án đúng là A. Photolithography (Quang khắc) là quá trình sử dụng ánh sáng để chuyển một mẫu hình (pattern) lên một lớp vật liệu nhạy sáng (photoresist) trên bề mặt wafer. Sau đó, lớp photoresist đã được định hình sẽ được sử dụng làm mặt nạ để khắc (etch) các lớp vật liệu bên dưới, tạo ra các cấu trúc mạch mong muốn. Các quá trình B, C và D là các bước khác trong quy trình sản xuất mạch tích hợp, nhưng không trực tiếp tạo ra các cấu trúc mạch.

Câu hỏi liên quan